大尺寸Mini LED巨量转移设备、AMOLED及硅基蒸镀机、显示面板OS检测设备、显示面板洁净搬运机器人……这些极具行业竞争力的国际、国内首台套重大技术装备产品，均来自位于安徽省合肥市新站高新区的合肥欣奕华智能机器股份有限公司(下文简称“合肥欣奕华”)。
作为工业4.0时代我国先进的泛半导体智能制造整体解决方案供应商，合肥欣奕华自2013年成立至今，已相继攻关了多项泛半导体行业重大难点技术，拥有超300项自主研发专利，多项核心技术达到国际先进水平，为我国新型显示产业链“补链”“强链”发挥了重要作用。
在世界制造业大会上，合肥欣奕华作为安徽技术创新的代表之一，携公司研发的国内首台蒸镀机产品受邀参展。该公司合肥区域总经理兼OLED事业部总经理曹景博介绍，公司最新研发的应用于钙钛矿领域的蒸镀机已经交付客户使用，而公司自2020年开始布局的半导体AMHS系统开发，也于近期完成Demo开发并通过客户技术规格认证。
核心装备国产化 国内首台补空白
蒸镀机作为OLED显示行业的“心房”，其作用是把显示材料精准、均匀地蒸镀到基板上形成发光膜层，是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素之一。而在2015年之前，该设备长期被国外垄断，国内面板制造企业曾经为了购买这样一台机器，需要一次性拿出十几亿元(人民币，下同)采购款项，且费尽周折才能买到。蒸镀设备一机难求曾经是限制国内面板厂商扩大OLED产能的重要原因。
为了解决行业痛点，2015年，合肥欣奕华开始布局蒸镀设备研发。“蒸镀机研发过程中，包括控制蒸镀薄膜的均匀性、控制高精密对位系统以及保持腔体的高真空度等很多方面都是研发难点。”曹景博介绍，团队经过三年的攻关，才在2017年推出了第一代G1 OLED蒸镀及封装系统设备，为我国在这一装备技术领域实现了突破，填补了国内显示行业上游核心设备的缺失。然而G1 OLED蒸镀机的很多核心零部件、配套元件都是国外进口，要想真正提升国产蒸镀机在行业内的竞争力，避免因贸易环境带来的核心部件的封锁等风险，提高蒸镀机设备的国产化率必不可少。
“以蒸镀机真空腔体的部件加工为例，蒸镀机要求其真空腔体要达到10^(-5)Pa，同时为了保证OLED器件性能，其表面的离子浓度要控制在PPB级别(浓度单位)，要求非常高，但是我们在国内找了很多供应商，都达不到这样的标准。”曹景博表示，此前公司是与韩国企业合作，后来在研发第二代G2.5 OLED蒸镀机的过程中，公司主动向韩国供应商学习探讨控制零部件表面离子浓度的工艺方法，学习国外先进的工艺流程，然后再与国内有潜力的供应链企业一同研发这项技术。
“我们最后花了一年多时间的研发，终于同国内供应商实现了零部件表面离子浓度参数的标准。”曹景博认为，对于起步较晚的国内半导体行业来说，通过学习国外先进的技术，整合产业链企业携手共同发展，国内的产业链企业才能不断提高竞争力。
研发投入达8% 建国际团队促研发
此前，合肥欣奕华就曾遇到进口设备核心零部件断供的问题，严重影响了公司设备的按期交付。曹景博认为，只有掌握核心技术才有话语权，因此国内产业链企业提前布局创新研发是必不可少的。合肥欣奕华在研发投入方面，近年来一直持续增加，目前每年的研发投入已占销售收入比重的8%左右。与此同时，合肥欣奕华打造泛半导体装备校企联合实验室，与中国科学院、北京航空航天大学、北京理工大学、清华大学、西安交通大学、哈尔滨工业大学等高校合作，建立先进技术研究院和产品研发所等。
目前，合肥欣奕华已主持和参与国家重点研发计划项目2项，承担国家电子信息产业振兴和技术改造专项2项，牵头编制工业机器人行业标准1项。同时，更有5项产品通过了安徽省首台套重大技术装备认定。对于合肥欣奕华来说，自主知识产权构筑的强有力核心技术是企业发展的最重要护城河。
曹景博介绍，合肥欣奕华的600名员工中，研发人员占比达70%，公司拥有30多名海外专家，核心团队有超过平均10年的泛半导体领域行业经验，凭借先进的技术，以及不断创新的能力，合肥欣奕华已成为智能制造领域重要的赋能者。
提升产业链议价权 售后维保降成本
自2015年布局蒸镀机设备至今，合肥欣奕华已先后在该设备研发上投入数亿元。2018年、2019年，合肥欣奕华相继研制推出第二代G2.5 OLED蒸镀机以及G8.5 OLED蒸发源系统，顺利导入客户量产。2021年，该公司自主研发的国内首台硅基蒸镀机成功导入客户量产线并完成全彩点亮。今年，最新研发的应用于钙钛矿领域的真空镀膜机也交付客户使用，而针对平板显示最新的8.5高世代线的蒸镀机设备，该公司已开始布局研发。
随着合肥欣奕华在蒸镀机设备领域研发的不断突破，不仅解决了国内部分企业对低世代线蒸镀机设备的使用需求，更助力产业链企业在诸多方面降低成本。与此同时，合肥欣奕华还具备了为采购国外设备的企业进行售后维修保养的能力。对于半导体设备来说，邀请国外工程师进行售后维保是一项很大的开支，合肥欣奕华可以进一步为相关企业降低设备维保成本。
扎根平板显示集聚区 凝聚合力共成长
京东方、维信诺、翰博高新等一批位于新站高新区的半导体产业链企业，如今都是合肥欣奕华的客户。在2013年选址新站高新区时，合肥欣奕华就认准了这里打造平板显示产业集聚区的规划前景。近年来，新站高新区加快建设国家级新型显示产业集聚区，招引了很多显示产业上下游优质项目，配套能力越来越强，显示产业布局亦越来越充实，基本上形成了从“沙子”到“整机”的显示产业全链条。离客户最近，离产业链最近，给合肥欣奕华的发展带来了更多商机。
曹景博介绍，新站高新区目前汇聚新型显示产业上下游企业95家，约占合肥市123家的77%，2021年新型显示产业总产值同比增长超20%，这与合肥欣奕华聚焦新型显示与半导体高端装备、工业机器人和智能工厂解决方案的发展方向，高度契合。企业的发展也离不开新站区产业集群的助力，产业链的不断健全，促进了企业供应体系的完善，让公司不仅上游供应更有保障、成本更低，还利于与下游企业协同攻关，推动了企业市场开拓，并提高对下游企业的服务质量。
在此基础上，合肥欣奕华亦享受到了新站高新区赋能创优营商环境推出的多项优惠政策，其中，公司享受到的新产品研发及产业化项目的政府专项资金扶持和税收返还政策，平均每年都超过1000万元。曹景博表示，这些政策的享受对于合肥欣奕华持续开展新产品研发，持续加大研发投入起到了关键作用，更为该公司后来顺利推出多款国内首台套重大技术装备产品奠定了基础。
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