Sorter( 分拣系统)主要应用于晶圆制造过程中的自动分拣
产品特点：
复合SEMI 标准；
高洁净度、高安全性、高精度控制；
提供定制化服务；
2~4 接口，紧凑型封口；
可选功能的模块化设计；
核心技术：
高精度的处理、装配和检测；
传输振动抑制控制；
高洁净度、高安全性、高精度控制。
京公网安备11030102010672号
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