主要应用于晶圆制造过程中的FOUP清洗。
产品特点:
高产出
分离清洗
氮气清洗
FOUP Leak, 湿度,
DHF 清洗
核心技术:
分离净化系统
高洁净度、高可靠性、高精度控制
Foup & Cover 清洗 & 干燥系统
DHF 清洗系统
氮气清洗系统