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主要应用于晶圆制造过程中的FOUP清洗。


产品特点:

高产出

分离清洗

氮气清洗

FOUP Leak, 湿度,  

DHF 清洗

核心技术:

分离净化系统

高洁净度、高可靠性、高精度控制

Foup & Cover 清洗 & 干燥系统

DHF 清洗系统

氮气清洗系统

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