EFEM ( 半导体设备前端模块)主要应用于晶圆的自动上下料。
产品特点:
高洁净度、高安全性、高精度;
抗静电, 抗腐蚀, 氮气清洗;
提供定制化系统;
2~4 接口, 紧凑型封装;
可选择的模块化设计;
核心技术:
高精度的处理、装配和检测;
氮气清洗系统& 抗腐蚀设计;
传输振动抑制控制;
高洁净度、高安全性、高精度控制;