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EFEM ( 半导体设备前端模块)主要应用于晶圆的自动上下料。


产品特点:

高洁净度、高安全性、高精度;

抗静电, 抗腐蚀, 氮气清洗;

提供定制化系统;

2~4 接口, 紧凑型封装;

可选择的模块化设计;

核心技术:

高精度的处理、装配和检测;

氮气清洗系统& 抗腐蚀设计;

传输振动抑制控制;

高洁净度、高安全性、高精度控制;

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