产品特点
– 模块化设计
– 标准化接口
– 轻量化设计
– 高洁净度密封设计
– 高速、高精度、洁净搬运
– 多枚基板同时处理，节省Tact Time
核心技术
– 大型基板搬运振动抑制
– 高洁净度密封、净化设计
– 基于位置反馈的变加速控制
– 故障诊断与预测
– 高精度精密加工、组装工艺与检测
| 机器人型号 | svv-143系列 | svv-184系列 | svv-9L2系列 | svv-9H5系列 | svv-581系列 |
|---|---|---|---|---|---|
| 机器人类型 | 圆柱型 | 支撑梁型 | 支撑梁型 | 支撑梁型 | 支撑梁型 |
| 可搬运基板：基板世代 | 4.5G及以下 | 5.5G | 6G | 8.5G | 10.5G |
| 可搬运基板：基板尺寸 | 370x470~730x920 mm | 1300x1500 mm | 1500x1850 mm | 2200x2500 mm | 2940x3370 mm |
| 可搬运基板：基板厚度 | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm | 0.4~1.4 mm |
| 运动范围：水平移动 | 0~10200 mm | 0~11150 mm | 0~11700 mm | 0~15700 mm | 0~18600 mm |
| 运动范围：垂直升降 | 0~1000 mm | 0~2400 mm | 0-4300 mm | 0~4700 mm | 0~6200 mm |
| 运动范围：手臂伸缩 | -815~930 mm | -1615~1600 mm | -1700~1680 mm | -2300~2300 mm | -2925~2875 mm |
| 运动范围：回转角度 | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° | 0°~370° |
| 最大速度：水平移动轴 | 2300 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2000 mm/s | 2300 mm/s |
| 最大速度：垂直升降轴 | 800 mm/s | 900 mm/s | 1000 mm/s | 1200 mm/s | 1300 mm/s |
| 最大速度：手臂伸缩轴 | 2500 mm/s | 3150 mm/s | 3800 mm/s | 4600 mm/s | 5000 mm/s |
| 最大速度：回转轴 | 157°/s | 90°/s | 90°/s | 60°/s | 90°/s |
| 主要性能：重复定位精度 | ±0.2 mm | ±0.2 mm | ±0.2 mm | ±0.25 mm | ±0.25 mm |
| 主要性能：最大载重（含执行未端) | 15 kg | 50 kg | 50 kg | 65 kg | 150 kg |
| 主要性能：执行未端耐热温度 | 常温~450 ℃ | 常温~450 ℃ | 常温~450 ℃ | 常温~450℃ | 常温~450 ℃ |
| 主要性能：洁净度 | Class 10(0.3 um) | Class 10(0.3 um) | Class 10 (0.3 um) | Class 10(0.3 um) | Class 10 (0.3 pum) |
| 主要性能：运行噪音 | ≤80 dB | ≤85 dB | ≤85 dB | ≤85 dB | ≤85 dB |
| 运行环境：温度 | 0~40 ℃ | 0~40 ℃ | 0~40℃ | 0~40 ℃ | 0~40 ℃ |
| 运行环境：湿度 | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90% RH | 30~90%RH |
| 电源规格（三相) | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% | AC200~230V±10% |
| 真空源规格 | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa | -70 kPa |
京公网安备11030102010672号
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