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中小尺寸巨量转移设备


产品特点

                                                                                                                                     


– 中小尺寸基材高速高精度固晶

– 可对应多种中小尺寸基材(220mm×260mm~430mm×835mm)

– Mini LED内部特征识别定位

– Wafer自动上下料

– 标准化软件接口


核心技术

                                                                                                                                     


– 可满足客户定制需求

– 蒸镀模拟技术

– 温度及压力控制技术

– PID控制技术

– Log分析技术

– 高精密对位补偿算法

– 高刚度结构设计及高频冲击下的振动抑制技术

– 为满足高精度运动控制的温度补偿技术

– 适应高速高精度固晶运动的亚毫秒级多轴协同运动控制

– 高精度的视觉识别技术,适用于识别各种Mini/Micro LED的微米级特征



产品参数
中小尺寸巨量转移设备 规格参数
基板尺寸 220mm×260mm~430mm×835mm
芯片 75μm×125μm ~ 3mm×3mm
精度 ≤15μm@3σ
可兼容基板 Glass&PCB&PI&FCP基板
速度 180k~270k UPH
良率 99.999%
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