产品特点
– 中小尺寸基材高速高精度固晶
– 可对应多种中小尺寸基材(220mm×260mm~430mm×835mm)
– Mini LED内部特征识别定位
– Wafer自动上下料
– 标准化软件接口
核心技术
– 可满足客户定制需求
– 蒸镀模拟技术
– 温度及压力控制技术
– PID控制技术
– Log分析技术
– 高精密对位补偿算法
– 高刚度结构设计及高频冲击下的振动抑制技术
– 为满足高精度运动控制的温度补偿技术
– 适应高速高精度固晶运动的亚毫秒级多轴协同运动控制
– 高精度的视觉识别技术,适用于识别各种Mini/Micro LED的微米级特征
中小尺寸巨量转移设备 | 规格参数 |
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基板尺寸 | 220mm×260mm~430mm×835mm |
芯片 | 75μm×125μm ~ 3mm×3mm |
精度 | ≤15μm@3σ |
可兼容基板 | Glass&PCB&PI&FCP基板 |
速度 | 180k~270k UPH |
良率 | 99.999% |